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Aerotech氣浮平臺

ABL1000氣浮平臺

1專為高性能校準(zhǔn)和裝配應(yīng)用設(shè)計
2分辨率達(dá)2nm的直線編碼器反饋
3閉環(huán)分辨率可達(dá)1nm(使用A3200控制器)
4全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
5低噪音線性放大器
6全部非接觸設(shè)計
行程≤150mm
精度±0.20um
重復(fù)定位精度±0.05um
直線度±0.25um
平面度±0.25um 
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ABL3600氣浮平臺
1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測特應(yīng)用設(shè)計
2雙軸,大孔,開放式結(jié)構(gòu)
3非接觸直線編碼器反饋,精度高
4雙直線電機驅(qū)動XY軸
5所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
行程≤250mm
精度±1um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.50um
平面度±1um 

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ABL8000氣浮平臺
1專為有效負(fù)載大,負(fù)載重心偏離機架中心線的應(yīng)用設(shè)計
2十字交叉結(jié)構(gòu),剛性穩(wěn)定性引人注目,幾何特性*
3所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
4行程達(dá)1米
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6可集成包括花崗巖的XY子系統(tǒng)
行程≤1000mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.40um
平面度±0.40um 

ABL9000氣浮平臺
1世上zui高性能的氣浮平臺,適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測和加工等要求苛刻的場合
2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承)
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4Y軸雙直線電機驅(qū)動
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
6主動控制偏轉(zhuǎn)
行程≤1200mm
精度±0.50um
重復(fù)定位精度±0.10um
直線度±0.50um
平面度±0.50um 
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AHL9000直線電機平臺
1專為晶片檢測，平板顯示加工和光學(xué)檢測及制造應(yīng)用設(shè)計
2掃描軸是空氣軸承，步進(jìn)軸是機械軸承
3行程達(dá)1.2米X1.2米
4雙直線電機驅(qū)動步進(jìn)軸
5直線編碼器或激光干涉儀反饋
行程≤350mm
精度±1.0um
重復(fù)定位精度±0.20um
直線度±0.60um
平面度±0.60um 

ABG10000氣浮平臺
1氣浮導(dǎo)軌實現(xiàn)超平滑運動
2所有軸都預(yù)加載荷
3下面軸采用雙無刷直線伺服電機驅(qū)動
3行程達(dá)1mx1m
4非接觸直線編碼器(光柵)
5可選Z軸,隔振,機械底座和控制箱
6適用于高速拾取/放置,自動化裝配,視覺檢測,點膠機,高精度檢測．
Travel行程≤1000mm
Accuracy精度±2.0um
Load負(fù)載84kg 

FiberCouple 130平臺
1同一條導(dǎo)軌上兩個運動平臺
2特立或并列運動
32.5nm分辨率
4非接觸直線電機驅(qū)動
5交鑰匙的配套驅(qū)動和控制系統(tǒng)
6適合輔助軸 
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VascuLathe ACS/ASR
1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.ER筒夾系統(tǒng)使材料箝位自動化
3.可選夾緊裝置夾緊管
4*的控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
5.單或雙主軸結(jié)構(gòu)
6.可選擇濕切割
7.擁有兩項PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956 

LaserTurn
1.直線平臺與旋轉(zhuǎn)平臺的高度集成化
2.氣動3爪卡盤或ER筒夾
3.較大的通孔可以使產(chǎn)品通過
4.可選擇在前后加工的平臺
5.直接驅(qū)動直線和旋轉(zhuǎn)電機技術(shù) 
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PlanarHD氣浮平臺
1zui大2m/s掃描速度和5g加速度的輸出
2zui快的轉(zhuǎn)向和zui小的穩(wěn)定時間
3主動偏轉(zhuǎn)控制
4直線光柵或激光干涉儀反饋
5行程1.2mx1.2m

行程≤1200mm
精度±300nm
重復(fù)定位精度±50nm
分辨率0.25nm 
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APT 系列平轉(zhuǎn)和傾斜組合轉(zhuǎn)臺
1滿足安全，國防建設(shè)和監(jiān)測市場的需要
2把*的高精密機械與業(yè)界的控制技術(shù)結(jié)合在一起
3慣性穩(wěn)定
4包含內(nèi)置滑環(huán)，可連續(xù)旋轉(zhuǎn)360°
5高定位精度和速度性能
6易于安裝和系統(tǒng)集成的集成電路
7低維護(hù)，高可靠性提供zui低的擁有成本
平轉(zhuǎn)：zui高速度180°/秒，持續(xù)360°
傾斜：zui高速度180°/秒，范圍為±95°
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度：120弧秒
有效載荷：35公斤
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Aerotech氣浮平臺