等離子廢氣處理設備又稱低溫等離子廢氣凈化器。低溫等離子廢氣處理設備的物理作用表現在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。生物作用表現在具有之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。

去除污染物的原理

低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子   物質，或使物質轉變成   或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得。作為環境污染處理中的一項具有潛在優勢的高，等離子體受到了相關學科界的高度關注。

等離子廢氣凈化器采用了   的吸附-分解-碳化 離心式抽風安裝新的工藝技術設計,采用標準模塊設計等優點,是一種干法處理廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術,無需   處理原料,無需專人負責,不產生二次污染,   換及維護保養方便。

去除污染物機理

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場+電子→   電子

(2)    電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基 團

(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱

(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子   先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，   電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。

等離子廢氣處理設備就目前的技術和材料，不適合處理廢氣，廢氣濃度   小于爆炸   下限的1/4，因此在廢氣進入等離子體前   預處理，包括溫度、粉塵、濕度、煙氣、油。由于直接或者間接對污染物放電，燃燒和爆炸的幾率肯定相對較高，主要的技術措施包括預處理、管路阻火器、導流控制、傳感器控制等。

一般講直流產生大靜電，通過靜電吸附材料空氣中的顆粒和油，直接裂解污染物的能力較小；電荷的有序運動形成反向的力，容易撕裂污染物分子，一般是交流放電，所以直流適合除塵，交流適合除臭。等離子廢氣處理設備不管采用什么樣的放電方式，只要能夠產生   級的等離子體，處理效率都在80%以上。講應該是電場強度越高等離子體的能級越高，處理效率越高。因此單純講電壓沒有意義。