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 前期進(jìn)氣要預(yù)處理到位，比如噴淋、過濾，等離子等，要保證進(jìn)氣無固定污染物（否則燈管表面附著物過多短波紫外線很難透過），然后讓主要有機(jī)無機(jī)廢氣成份經(jīng)過雙波段紫外線燈的光解反應(yīng)區(qū)，然后讓氣體再經(jīng)過254納米波長單波段光催化輔助反應(yīng)區(qū)，在這個反應(yīng)區(qū)一是光催化分解，另外更重要的一點是254nm波長紫外線會大量分解掉反應(yīng)完過量的O3臭氧（困為排放到大氣中的O3也是一種污染原），使O3還原成氧氣，在末端再加上一至兩層臭氧催化網(wǎng)分解掉殘余的少量臭氧，這樣排放出來的空氣則潔凈如新。

放電過程中雖低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過某種機(jī)制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質(zhì)，這種媒質(zhì)就稱為電離氣體，如果外電場產(chǎn)生了電離氣體，傳導(dǎo)電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱為氣體放電。而這種凈化設(shè)備的技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理的一種原理。