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1、流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量（無需溫度和壓力補償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量測量電壓與設定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調節閥，通過閉環控制來控制通過的流量，并使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。左圖為MFC和流量顯示儀連接后的工作原理圖：
圖1:氣體質量流量控制器原理圖
控制器輸出的流量檢測到的電壓與流過通道的氣體質量成正比。滿量程檢測輸出電壓為5VDC。氣體質量流量控制器的檢測范圍為2~*滿刻度（量程比為50：1），流量分辨率為0.1%滿刻度。
注意: 氣體質量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時也可以當成氣體質量流量計使用。這時，流量檢測輸出電壓的輸出值可能達到10VDC以上。需要注意的是，一旦輸出電壓超過5VDC，流量檢測電壓和實際通過的流量不成線性對應關系。清洗時，流量顯示是不準確的，而且還可能出現流量增大、顯示減小的現象，但這些不會損壞質量流量控制器。
2、氣體質量流量計和氣體質量流量控制器結構
氣體質量流量計含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構成了流量控制器。
3、氣體質量流量控制器和氣體質量流量計的應用范圍
MFC和MFM可廣泛地應用于石油化工、半導體和集成電路、特種材料學科、醫藥、環保和真空等多種領域的科學研究和生產中，其典型應用有：電子工藝設備，如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應裝置、配氣和混氣系統、鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。
應用對象：質量流量控制器應用系統集成商、特殊氣體廠商、真空元件供應商、真空系統集成商、特殊氣體廠商、真空元件供應商、真空系統集成商、電池系統集成商、生化系統集成商、氣體裝配流水線集成商、大學實驗室、氣體公司、研發
圖1:氣體質量流量控制器原理圖
控制器輸出的流量檢測到的電壓與流過通道的氣體質量成正比。滿量程檢測輸出電壓為5VDC。氣體質量流量控制器的檢測范圍為2~*滿刻度（量程比為50：1），流量分辨率為0.1%滿刻度。
注意: 氣體質量流量控制器的“閥控”線置于“清洗”位時也可以當成氣體質量流量計使用。這時，流量檢測輸出電壓的輸出值可能達到10VDC以上。需要注意的是，一旦輸出電壓超過5VDC，流量檢測電壓和實際通過的流量不成線性對應關系。清洗時，流量顯示是不準確的，而且還可能出現流量增大、顯示減小的現象，但這些不會損壞質量流量控制器。
2、氣體質量流量計和氣體質量流量控制器結構
氣體質量流量計含流量傳感器、分流器通道和流量放大、線性化及溫度補償電路組成。增加電磁閥和PID控制電路就構成了流量控制器。
3、氣體質量流量控制器和氣體質量流量計的應用范圍
MFC和MFM可廣泛地應用于石油化工、半導體和集成電路、特種材料學科、醫藥、環保和真空等多種領域的科學研究和生產中，其典型應用有：電子工藝設備，如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應裝置、配氣和混氣系統、鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。
應用對象：質量流量控制器應用系統集成商、特殊氣體廠商、真空元件供應商、真空系統集成商、特殊氣體廠商、真空元件供應商、真空系統集成商、電池系統集成商、生化系統集成商、氣體裝配流水線集成商、大學實驗室、氣體公司、研發
