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詳細介紹
| 光源 | 5KW短弧燈，配平行光燈組 |
| 照度分布 | ＞85％（510×610mm） |
| 平行半角 | <1.5。 |
| 傾斜角 | <1.5。 |
| 工作范圍 | 250×250～510× |
| 定位方式 | CCD LENS×2輪廓影像處理 |
| 定位精度 | ±5um~±10um根據基板條件 |
| 電源 | 3Φ,220V/380V,50/60HZ,20KVA |
| 空壓量 | 0.5mpa以上， |
| 冷卻水 | 8～ |
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