通過整合光學(xué)顯微鏡和*的測量能力實現(xiàn)精確測量
多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能STM7奧林巴斯測量顯微鏡系列采用了當(dāng)前*光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被*消除，以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量。

STM7奧林巴斯測量顯微鏡采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性，使測量可到達亞微米水平，同時確保大程度地降低誤差。

測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng)
STM7測量顯微鏡設(shè)計注重易用性
提供載物臺以適合眼下的樣本大小
[常見問題] 
? 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
? 目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費事費時，效率不高。
? 由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實現(xiàn)一次性同時測量。
[STM7解決方案]
    共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm
和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
? 采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后，載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動，并且可以在XY平面上自由穿梭。
? 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。