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棗莊專業從事集成電路凈化車間設計安裝工程
大家知道嗎?集成電路芯片在生產過程中接觸的氣體有空氣和加工用的氣體,如氧氣、氮氣等,加工所用氣體的純度主要靠供氣工廠保證。對集成電路工廠來說,主要問題在于保持生產環境中的空氣清潔。
所以我們做集成電路凈化車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室,該潔凈室對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD(靜電控制)、AMC(氣態分子級污染物)控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室,集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等特點。
棗莊專業從事集成電路凈化車間設計安裝工程,根據潔凈室空氣循環特點可以將潔凈室分為三種類型:循環空調機配合高效送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU循環系統。
*種形式在小規模低等級要求的潔凈室設計中被廣泛應用,對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
第二種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求,但運行成本較高,并且潔凈室風速、風量調節困難,系統升級改造困難,因此操作靈活性很低。
第三種的FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整,這些都能很好地滿足半導體制造的需求,因此在半導體制造業FFU循環系統逐漸成為主要的潔凈設計方案。
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