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詳細(xì)介紹
UNIPOL-1502自動精密研磨拋光機(jī)在研磨過程中兩個加工工位可以一定的頻率左右擺動，同時推動載物塊左右擺動，載物塊在進(jìn)行自轉(zhuǎn)的同時隨著研磨盤公轉(zhuǎn)，使樣品做無規(guī)則運(yùn)動，使研磨后的樣品表面質(zhì)量均勻。研磨拋光機(jī)配備的載物塊是具有高的平面度和平行度的精密圓柱狀金屬塊，使研磨后的樣品表面也具有高的平面度，并且不會使樣品邊緣倒角，對邊緣要求高的樣品尤其適合。UNIPOL-1502自動精密研磨拋光機(jī)若配置適當(dāng)?shù)母郊℅PC-100A精密磨拋控制儀），可批量生產(chǎn)高質(zhì)量的平面磨拋產(chǎn)品。搭配GPC-100A使用尤其適用于直徑≤110mm的晶圓樣品的研磨與拋光。
主要特點(diǎn) | 1、超平拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。 2、超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤端跳小于0.012mm）。 3、設(shè)有三個加工工位。 4、主軸旋轉(zhuǎn)采用無級調(diào)速控制方式，并設(shè)有數(shù)顯表實(shí)時顯示轉(zhuǎn)數(shù)。 5、配有定時器，可準(zhǔn)確控制工作時間（0-300h之間）。 6、可選配自動滴料器或循環(huán)泵，使磨拋更加方便快捷。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源：110V/220V 2、功率：410W 3、磨拋盤轉(zhuǎn)速：0-125rpm 4、工位：3個 5、支撐臂擺動次數(shù)：0-9次/分 6、托盤端跳：0.01mm/332mm 7、磨拋盤：Ø381mm 8、載物盤：Ø110mm |
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