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詳細介紹
掃描電子顯微鏡，半導體sem顯微鏡的作用：
由于半導體器件體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機械性能好. 因而適用的范閘極廣。然而半導體器件的性能和穩定性在很大程度上受它表面的微觀狀態的影響。
1.質量監控與工藝診斷
2. 器件分析
3.失效分析和可靠性研究
4.電子材料研制分析
5. 這對檢測和研制真空微電子二極管是極其有用的。
6.可控制中子輻射損傷和選用合適的退火工藝消除內部缺陷，提高 NTD 硅單晶質量。
7.半導體材料中的動力學現象
掃描電子顯微鏡，半導體sem顯微鏡的性能：
放大倍數：60000x /150000x
加速電壓：500V - 15kV
電子源:預對中鎢燈絲
聚光鏡:兩級電磁變焦聚光鏡
樣品臺:X-Y兩軸自動樣品臺
樣品臺移動范圍:30mm×30mm
標準配置：
背散射電子探測器
二次電極探測器
CCD光學導航
由于半導體器件體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機械性能好. 因而適用的范閘極廣。然而半導體器件的性能和穩定性在很大程度上受它表面的微觀狀態的影響。
1.質量監控與工藝診斷
2. 器件分析
3.失效分析和可靠性研究
4.電子材料研制分析
5. 這對檢測和研制真空微電子二極管是極其有用的。
6.可控制中子輻射損傷和選用合適的退火工藝消除內部缺陷，提高 NTD 硅單晶質量。
7.半導體材料中的動力學現象
掃描電子顯微鏡，半導體sem顯微鏡的性能：
放大倍數：60000x /150000x
加速電壓：500V - 15kV
電子源:預對中鎢燈絲
聚光鏡:兩級電磁變焦聚光鏡
樣品臺:X-Y兩軸自動樣品臺
樣品臺移動范圍:30mm×30mm
標準配置：
背散射電子探測器
二次電極探測器
CCD光學導航
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