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精密氣浮大理石科研實驗平臺

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參考價: ￥ 45000

訂貨量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號雙驅(qū)氣浮

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地蘇州市

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聯(lián)系方式：秦女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2019-10-10 14:16:56瀏覽次數(shù)：337次

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蘇州智德自動控制有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：2條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：秦女士（助理）

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產(chǎn)品簡介

精密氣浮UPAS超精密氣浮平臺
特性 Specification
超高精密：分辨率10nm,重復精度50nm,定位精度：100nm
超穩(wěn)定性：花崗石機臺，氣浮導軌，直線電機驅(qū)動，勻速段速度波動低于0.05%
高動態(tài)性：高加速度，高響應(yīng)，*平穩(wěn)運行，同時保持**的穩(wěn)定性
應(yīng) 用 Application
半導體制造、激光成像、平板顯示器制造、激光切割、精密測量等高精度定位的場合

詳細介紹

精密氣浮大理石科研實驗平臺

UPAS超精密氣浮平臺

特性 Specification
超高精密：分辨率10nm,重復精度50nm,定位精度：100nm
超穩(wěn)定性：花崗石機臺，氣浮導軌，直線電機驅(qū)動，勻速段速度波動低于0.05%
高動態(tài)性：高加速度，高響應(yīng)，*平穩(wěn)運行，同時保持**的穩(wěn)定性

精密氣浮大理石科研實驗平臺

應(yīng) 用 Application
半導體制造、激光成像、平板顯示器制造、激光切割、精密測量等高精度定位的場合

尺寸及技術(shù) 參數(shù)

規(guī)格	UPAS-2-D-IR-0200-0200-10
行程（mm）	X200 ,Y1,Y2 200,R360º	直線度(μm）	X2,Y2
重復精度(nm)	X±50,Y±50(分辨率10nm)	X-Y垂直度（arc-sec）	±3
R軸重復精度(acr-sec)	±2.5	額定負載(kg)	8（MAX30）
大加速度(m/s²)	X9.8, Y9.8	X動負載（kg）	6.78
勻速速度(mm/s)	280	Y動負載（kg）	37.09
勻速段長度(mm)	X182 Y182	總質(zhì)量（kg）	102.6
工作周期(ms)	X800 Y800	外觀	黑色陽極
導軌類型	氣浮	基座材質(zhì)	花崗石