榆林太陽能光伏廢氣處理設備價格根據廢氣的來源組分及環保要求，多晶硅生產過程中廢氣的處理，實際是對廢氣中的氯硅烷和*氣體進行有效的去除處理。因此，只需使處理后的廢氣符合*和二氧化硅的大氣排放標準即可。目前，多晶硅生產過程中廢氣的主要處理方法有水洗法、堿淋洗法和焚燒法，其中堿洗法根據使用的材料分為氫氧化鈉處理法和氫氧化鈣處理法。下面將對上述主要方法進行簡要描述。

（1）水洗法

榆林太陽能光伏廢氣處理設備價格水洗法的主要原理是水與氯硅烷廢氣在幾級串聯的淋洗塔內發生水解吸收反應，噴淋水可以大量吸收廢氣中含有的*和氯硅烷水解產生的*，經過幾級水解吸收處理后的廢氣達標排放。

（2）堿洗法

堿洗法的原理與水洗法相似，常用的堿液主要包括氫氧化鈉和氫氧化鈣溶液，堿液與廢氣中的氯硅烷和*同樣在幾級串聯的淋洗塔內或是密閉的反應釜內進行水解中和反應，產生硅酸鈉、氯化鈉、或是硅酸鈣、氯化鈣、少量二氧化硅和水，處理后的廢氣主要為氮氣、氫氣和水蒸氣達標排放。堿液淋洗后產生的廢堿水經中和壓濾后固渣外運填埋。

（3）燃燒法

燃燒法的主要原理是在有氧和助燃材料的條件下，廢氣在燃燒爐內進行高溫燃燒水解，從而將廢氣轉化為含有二氧化硅、*、水蒸氣的高溫煙氣，通過對高溫煙氣的換熱、攔截和降溫吸收，以蒸汽的方式回收煙氣中的熱量，同時以副產物的形式回收煙氣中的二氧化硅和鹽酸，剩余煙氣經淋洗后達標排放。