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RTO蓄熱式氧化焚燒廢氣處理系統當有機廢氣進入蓄熱體后，蓄熱體放熱，有機廢氣被加熱到800℃左右后在高溫氧化室燃燒，燃燒后的高溫潔凈氣體通過蓄熱體2，；蓄熱體2吸熱，高溫氣體則被蓄熱體2冷卻后，經過切換閥排放。經過一段時間，閥門切換，有機廢氣從蓄熱體2進入，蓄熱體2放熱加熱廢氣，廢氣被氧化燃燒后通過蓄熱體1，蓄熱體1吸熱，高溫氣體被冷卻后通過切換閥排放。這樣周期性地切換，就可連續處理有機廢氣，同時無需或少量補充能量，達到節能效果。
對VOC排放濃度和排放速率要求較高的情況下，可設計三個或五個蓄熱床，每個蓄熱床依次進行蓄熱一放熱一清掃的循環過程。
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