多種脫臭工藝的特征與經濟性比較表

    廢氣處理技術的有效性取決于費用，劑量，引起異味的化合物的存在，取決于污染物的聚集效果，以及設備保養，空間限制，有毒物質含量等多方面因素。因此，脫臭技術還需要車間生產方面配合協作。

光氧等離子凈化污染物的過程如下：

過程一：高能電子直接轟擊

過程二：產生氧原子、臭氧、羥基自由基及小分子碎片

 O2  +  2e  →  2O·

 O2   +  O·  →  O3  +  e

H2O  +  2e → H·  +  HO·

H2O  +  O·+  e →  2HO·

H· +  O2  →  HO·  +  O

C(a+b)H(m+n)O(x+y) + 2 e → CaHmOx ·+ CbHnOy·

過程三：分子碎片氧化

CaHmOx  + HO·→ CO2 + H2O

CaHmOx  + O·→ CO2 + H2O

CaHmOx  + O2→ CO2 + H2O

CaHmOx  + O3→ CO2 + H2O

經過光氧等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量。相關反應機理如下：

H2O  +  e → H·  +  HO· +  e

H·  +  O3 → O2  +  HO·

HO·  +  O3 → HO2·  +  O2

HO2·  +  O3 → HO·  +  O2

因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。

光氧等離子廢氣處理技術是一種新興的高效廣譜廢氣處理技術。該技術利用產生的等離子體，對污染物分子進行破壞裂解，可以將有機物分解，氧化，形成無害、無味的成分，從而達到達標排放的目的。