低溫等離子體技術處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。作為環境污染處理領域中的一項具有*潛在優勢的*，等離子體受到了國內外相關學科界的高度關注。

電暈放電型等離子的優勢：

1，與雙介質相比，電暈放電等離子設備更加經濟。

2，由于電暈放電材質為不銹鋼材質+特殊合金絲，所以耐用而且應用范圍廣泛。

3，所形成的電場為蜂窩狀電場，會產生大量的高能電子對有機廢氣進行破壞。

4，低溫等離子廢氣處理設備屬于高電壓低電流的設備，因此功率低，能耗小，運行成本低。

5，便于維護保養，反應器需要清理時，只需抽出反應器進行維護保養即可。

 
介質阻擋放電型等離子的優勢：
      介質阻擋放電過程中，等離子體內部產生富含*化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，zui終轉化為CO2、CO和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。適用范圍廣，凈化效率高，尤其適用于其它方法難以處理的多組分惡臭氣體，如化工、醫藥等行業。