晶線斷裂檢測系統

系統概述

在直拉法單晶硅棒生產過程中，晶棒在液面處慢慢生長為固體晶棒。晶棒在生長過程中，其表面每隔90度形成一條豎直的晶線。由于生產時的不確定因素會導致晶線斷裂，產品就不合格。生產中需要監測單晶棒的生長，及時發現晶線斷裂并發出告警。如果未及時發現晶線斷裂，晶棒會在無晶線的情況下繼續生長成為廢品。
通過在單晶硅生長爐觀察孔安裝相機連續拍攝單晶硅棒的圖像、算法軟件自動判斷晶線是否斷裂實現對生長過程的自動監測。

正常晶線示例 晶線斷裂示例

技術難點

采集的圖像*是由高溫爐內液體和固態晶棒的溫度不同而產生的灰度圖像，因此圖像的對比度較小，給晶線的識別和判斷造成了一定的困難。使用深度學習算法，通過大量的樣本進行訓練，訓練得到的深度神經網絡能夠準確地識別出晶線是否斷裂。

檢測結果

晶線未斷裂檢測實例

晶線斷裂檢測實例