無接觸少子壽命掃描儀-產品特點

■ 無接觸和無損傷測量
■ 自動測量，具有傳送系統，可進行連續測量
■ 快速測量，測試掃描速度達到2000mm/min
■ 測試范圍廣：包括硅塊、硅棒、硅片等少子壽命測量
■ 主要應用于硅棒硅塊、硅片的進廠、出廠檢查，生產工藝過程中重金屬沾污和缺陷的監控等 
■ 性價比高，*程度地降低了企業的測試成本


無接觸少子壽命掃描儀-*工作條件

■ 溫度：18-26℃
■ 濕度：10%~80%
■ 大氣壓：750±30毫米汞柱






-技術指標

■ 少子壽命測試范圍:0.5μs-300μs
■ 測試掃描速度:2000mm/min
■ 測試尺寸:215mm*215mm*400mm
■ 電阻率范圍：
P型：0.8Ω.cm-100Ω.cm（范圍之外可測量，但將有一定測試偏差）
N型：0.5Ω.cm-100Ω.cm（范圍之外可測量，但將有一定測試偏差）
■ 激光波長：980±30nm,測試功率范圍：50-500mw
■ 硅棒硅塊掃描間距：≥1mm
■ 儀器測試精度：±3.5％，信號處理偏差≤2％
■ 工作頻率：10GHz±0.5
■ 微波測試單元功率：0.01W±10%
■ 電源：～220V 50Hz 功耗＜200W
■ 主機尺寸：365mm * 645mm *565mm
■ 主機重量：30KG