X射線由Mo靶或W靶產生，在Ni/C人工多層膜上反射并單色化。扁平的光束以非常小的角度(0.3 – 0.6 °)掠射裝有樣品的樣品架，并產生全反射。樣品所產生的特征熒光被能量色散探測器(XFlash® detector) 探測，強度通過偶合的多通道分析器測量。 

與常規的XRFzui大的不同，全反射熒光（TXRF）是使用了單色光和全反射光學部件。以全反射光束照射樣品，降低了吸收、以及樣品及襯底材料對光的散射。結果是大大降低了背景噪音，因此有高的多的靈敏度和明顯地降低了基體效應。 

全反射熒光(TXRF)的zui主要優點是，相對于其他原子波譜分析法，如AAS 或 ICP-OES，無記憶效應。 

全反射熒光分析法，樣品必須制備在能全反射X射線的樣品架上。因此，樣品架的直徑30mm，材料通常是丙烯酸或石英玻璃。 

液體樣品直接滴在樣品架上，通常是使用微量移液管轉移幾微升（µl）試液到樣品架上。然后在干燥器里蒸發或在烘箱中干燥。 

固體樣品，有不同的制樣方法。粉末樣品（懸浮質、土壤、礦物、金屬、色素、生化樣品，等等）可以把樣品直接放在樣品架上直接測量。典型的方法是，使用小勺或無塵紙轉移幾微克（µg）的樣品到樣品架上。 

單個的微量樣品（顆粒，長條等）也可以用類似的方法直接制樣。 

另外，粉末樣品可以使用揮發性溶劑如丙酮或甲醇制成懸浮液，懸浮液用移液管轉移到樣品架上，還可以使用微波消解的辦法。

主要特點：
 

主要技術特點 
? 可對固體、粉末、液體、懸浮物、過濾物、大氣飄塵、薄膜樣品等進行定性、定量分析，元素范圍13Al-92U，含量范圍ppb至*，檢出限到2pg。 
? 需要樣品量少，液體及懸浮物樣品1-50微升，粉末樣品10微克以內。 
圖2.4 S2 PICOFOX 
? *的便攜式全反射熒光儀，設備小巧，一體化結構設計，不需要任何輔助設備及氣體、液氮等，可拿到現場進行分析。 
? 1位及25位全自動進樣器兩款設計，分別適用于每天有少量樣品及大批量樣品的全自動分析。 
? 第四代XFlash®SDD硅漂移探測器，采用帕爾貼冷卻技術，不需要液氮，沒有任何消耗。分辨率優于160eV at MnKa 100Kcps。 
? 由于全反射無背景，熒光強度與元素含量直接成正比。標準曲線工廠已校準好，用戶不需要標樣就可以進行定量分析。
? 應用：水、廢水、土壤中的污染元素；血液、尿液、組織中的有毒元素；食品、醫藥、刑偵、環保、陶瓷、水泥、建材、地質等領域。