耦合傳動、伺服驅動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結構，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優點。迎合個性化設計，手指及接口用戶可定制，網絡化控制系統，高速傳片效率和碰撞保護功能，SEMI認證S2、F47，MCBF大于1000萬次。負責完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導體行業的*之選擇。
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