大氣機(jī)械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍(lán)寶石基片搬運。手臂采用*的結(jié)構(gòu)加強了手臂的剛性,并有效抑制振動,輕量化設(shè)計滿足高速要求。本體的制造工藝改進(jìn)有效降低成本,提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選,以實現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護(hù)功能。肘部和腕部靈活控制,使得機(jī)器人可以采用任意姿勢來取放晶元,允許更多的片盒直線排布,更節(jié)省空間,適應(yīng)性更強。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢之選。
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