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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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真空機械手ARCHER 系列

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廠商性質其他

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更新時間:2023-02-09 09:26:10瀏覽次數:523次

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直驅電機結構,全新的IO模塊,具有*的防碰撞保護功能及輸入信號硬件中斷功能。滿足個性化設計支持用戶定制,手臂長度可選,可為客戶提供接口及末端定制服務。

機械手本體采用多電機同軸結構,動作更加靈活穩定;高重復定位精度,并具備AWC自動糾偏功能,保證傳片精度;耐真空性,可勝任高真空環境下晶圓傳片需求。直驅電機結構具有更高的真空特性,內部結構沒有齒輪,皮帶等部件,系統運行的平穩性更好,可靠性更高。IO模塊具有更多的輸出輸入引腳,用戶可以根據需求配置成互鎖、傳感器檢測等功能。輸入信號支持硬件中斷功能,方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應用。帶有安全區配置功能和靈敏的碰撞保護功能,減少用戶誤操作導致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器,方便調試人員使用,并支持熱插拔功能。在此基礎上,Archer Q41采用雙手蝴蝶手形式,四手指結構,雙取雙放,大大提高了晶圓傳片效率。Archer Q41/R41可以根據客戶應用的特殊要求,定制手臂尺寸,Z軸行程,耐高溫耐腐蝕特性等。

參數:

本體重量Body Weight

90KG

適用晶圓尺寸Wafer Size

300mm/200mm

負載Payload

1KG

電源輸入Power Supply

AC電壓:208V AC頻率:50HZ/60HZ

電源范圍 電壓波動范圍

單相交流208V +10%-15%

節拍Bear

8.5s(Pick,Rotate180°,Place,根據手指材料,傳輸位置不同相關)

動態偏差糾正精度(AWC)

±0.1mm

運動范圍

Range

R994mm

T:>360°

Z135mm

重復定位精度Repeatability

Z: ±0.05mm3σ)

T: ±0.003°(3σ)

R: ±0.05mm3σ)

漏率Leak rate

< 5 x 10-9 std. cc/sec He

真空度Base Pressure

3X10-8Torr

適用溫度

Applicable temperature

法蘭:<90;本體:<50;手臂:<90

潔凈度Clean Class

ISO CLASS1

MCBF

>12.8million cycles

通信接口Communications

Ethernet/串口serial interface

IO互鎖IO interlock

支持Support


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