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沈陽新松機器人自動化股份有限公司

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大氣機械手Blade-SD210

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地

更新時間:2023-02-09 09:37:42瀏覽次數:545次

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高潔凈等級,高速傳片,碰撞保護,Mapping,SEMI認證S2,F47,迎合個性化設計手指及接口用戶可定制。

耦合傳動、伺服驅動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結構,具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優點。迎合個性化設計,手指及接口用戶可定制,網絡化控制系統,高效率傳片和碰撞保護功能,SEMI認證S2、F47,MCBF大于1000萬次。負責完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導體行業的*之選擇。


參數:

結構形式Mechanical Structure

柱坐標型/SCARA Cylindrical Coordinate/SCARA

負載Payload

名稱name

晶圓wafer

直徑diameter

2/4/6/8/12

重量weight

0.5kg

自由度數DOF

5

手數量Number of Arm

2

回轉直徑Maximum Swing diameter

580mm

運動范圍

Moving Range

升降軸 (Z)Up/Down( Z)-Axis

450mm

回轉軸 (T) Rotational(T)-Axis

270°

伸展軸 (R)

Extension(R)-Axis

R670mm

節拍

Swap time

升降軸 (Z)

Up/Down( Z)-Axis

1sHome to Fullextension

回轉軸 (T) Rotational(T)-Axis

0.7s/180°

伸展軸 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

1.2s/450mm

重復定位精度

Repeatability

升降軸 (Z)Up/Down( Z)-Axis

±0.1 mm(3σ)

回轉軸 (T) Rotational(T)-Axis

±0.006°(3σ)

伸展軸 (R1R2) Extension(R1R2)-Axis

±0.1 mm(3σ)

潔凈度Clean Class

CLASS 1

主機重量Body Weight

60 kg

電源Power Supply

208VAC(50Hz/60Hz)

行程

670mm


真空機械手 Archer 系列

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