advantages
產品優勢
符合SEMI標準
整機參照SEMI進行設計，符合半導體行業標準自主研發
大氣手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研發，穩定性高尺寸多樣性
采用行業標準尺寸，內部空間布局合理，結構緊湊性強，可根據用戶需求定制傳輸效率高
多款大氣手、aligner等部件可供選配，可配置外部軸，大氣手可實現多種取放功能，傳輸效率高標準化程度高
內部零部件高度標準化模塊化，互換性高兼容性強
可根據用戶的實際需求進行非標定制
Application areas
產品應用領域
半導體晶圓傳輸
parameter
產品參數
-
尺寸
2650*750*2500mm
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重量
≤1100kg
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潔凈等級
class 1
-
wafer放置位置精度
±0.1mm
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wafer放置角度精度
±0.2°
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WPH
≥400
智能制造網