advantages
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
鋼帶結(jié)構(gòu)
高潔凈度、耐高溫、耐腐蝕磁流體密封技術(shù)
高真空度、低漏率拋光不銹鋼手臂、亮面不銹鋼護(hù)罩
表面美觀、高潔凈度精簡(jiǎn)傳動(dòng)
精簡(jiǎn)傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，高效，長(zhǎng)壽命軟件控制系統(tǒng)
效果優(yōu)良的碰撞保護(hù)功能、動(dòng)態(tài)糾偏功能質(zhì)量可靠
高品質(zhì)零部件，精密裝配，嚴(yán)格檢驗(yàn)，確保高精度、高壽命模塊化
方便維修維護(hù)
Application areas
產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
晶圓傳輸工作
托盤(pán)傳輸工作
parameter
產(chǎn)品參數(shù)
-
有效載荷
≤1.5kg
-
工作范圍
≤820
-
控制軸數(shù)
2
-
重復(fù)定位精度
±0.1
-
安裝方式
上法蘭安裝
智能制造網(wǎng)