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RMC系列匹配器

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更新時間：2024-10-16 14:07:43瀏覽次數：57次

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四川英杰電氣有限公司

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產品簡介

適用于光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等領域。適用于等離子體增強化學氣相沉積（PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應濺射等工藝。

詳細介紹

● 全數字控制，匹配精度高，匹配時間短
● 采用真空電容，可靠性高，使用壽命長
● 結構緊湊，體積小，安裝便捷
● 超寬匹配范圍，可定制適配任意負載
● 具有手動/自動匹配功能
● 具有保持和預置設定功能
● 具有通訊功能，可獨立連接上位機實時顯示負載狀態

輸入	控制電壓：AC230V±10% 或 DC24V	輸入接口：N型、HN、7/16
	頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz	傳輸功率：1.5kW～6kW
	射頻輸出電壓：4000Vpeak	射頻輸出電流：25Arms～120Arms
輸出	輸出接口：7/16、B20N、銅排, 其他規格可定制
性能指標	匹配時間：A系：端對端＜5s ,預設點到匹配點 1s~3s C系：端對端＜3s ,預設點到匹配點 0.3s~2s	駐波：A系：＜1.2 C系：＜1.1
	阻抗實部：1Ω～200Ω	阻抗虛部：+200j～-200j
	負載類型：IPC 或CCP	外形尺寸：根據客戶要求定制
注：產品不斷創新，性能繼續提升，本參數說明僅供參考。

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