熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術。其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD），一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當兩個RTD被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體流速增加，介質帶走的熱量增多。是傳感器溫度隨之降低。為了保持溫度的恒定，則必須增加通過傳感器的工作電流，此增加的部分電流大小與介質的流速成正比。

熱式氣體質量流量計特點

1、熱式氣體質量流量計既可進行氣體流量計量工作，也可用于過程控制領域；

2、必須溫壓補償，直接測出流體的質量流量；

3、沒有可動部件，壓力損失小；

4、量程比寬，精度高，可靠性高；

5、安裝簡單，操作方便；

6、可以在所有領域全面替代孔板和差壓式流量計。

主要技術參數

測量介質：天然氣、空氣、氫氣、煤氣、煙道氣、空氣等

口徑：DN10~DN300

精度：1.5%FS

溫度范圍：-20~120℃

輸出：4~20mA電流輸出，脈沖輸出

通訊方式：HART/RS485

防護等級：IP65

應用范圍：

1、大型燃燒爐，聯產及其他燃燒過程中的燃燒氣體測量；

2、壓縮空氣/氣體/天然氣測量

3、半導體生產工藝中的氣體流量和控制，包括超純氣體。