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Z neox 5刀具測量儀

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更新時間：2021-09-06 12:22:12瀏覽次數：283次

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天津萬瑞品創科技有限公司

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產品簡介

產品介紹: 產品類型：刀具測量儀產品型號：Z neox 5測量類型：圖像、3D、3D膜厚、干涉相位對比匹配方式：全自動匹配

詳細介紹

此款Z neox 5 3D刀具測量儀結合了高精度旋轉模塊和Z neox3D光學輪廓儀的*檢測和分析功能在的位置上實現全自動地3D表面測量，并結合在一起，完成全表面的3D立測量。Zneox3D測量技術涵蓋了廣泛的尺度，包括輪廓變化（多焦面疊加技術）、亞納米粗糙度（干涉測量技術）或需要更高橫向分辨以及垂直分辨率（共聚焦技術）的臨界尺寸。

測量原理	共聚焦、PSI、ePS、CSI、 Ai 多焦面疊加和薄膜
觀察類型	明場、彩色、共聚焦、干涉相位對比
測量類型	圖像、3D、3D膜厚、線輪廓和坐標
相機	5Mpx: 2448x2048 像素 (60 fps)
臺階精度6	0.5%
臺階重復性6	0.1%
顯示分辨率	0.001nm
拼接張數	10x12(分辨率): 175x175(低分辨率）(500Mpx)
共聚焦幀速	20 fps (5Mpx); 60 fps (1.2 Mpx)
一般垂直掃描范圍	線性平臺： 40mm 范圍；5nm 分辨率
精細垂直掃描范圍	帶有壓電掃描器; 200μm范圍；0.5nm分辨率
Z 測量范圍	PSI 20µm; CSI 10mm; 共聚焦和 Ai多焦面疊加 34mm
XY 工作臺范圍	電動;154x154 mm
LED光源	紅色（630納米）; 綠色（530納米）; 藍色（460納米）和白色(575納米)
環形照明	綠色環形燈與 6 孔位鼻輪兼容
鼻輪	6 孔位全電動
樣品反射率	0.05 % to
樣品重量	3Kg
用戶管理權限	管理員、主管、高級操作員、操作員
高階分析軟件選件	SensoMAP,SensoPRO, SensoMATCH, SensoCOMP, Geomagic®
功率	線電壓100-240 V AC; 頻率50/60 Hz單相
計算機	的INTEL處理器; 3840x2160像素分辨率 (4K) (27”)
操作系統	64 位 Windows 10 操作系統
外觀尺寸長X寬X高	945 x 635 x 610 mm (37.2 x 25.0 x 24.0 英寸)
重量11	77 千克（ 170 磅）
環境	溫度 10ºC至 35ºC; 濕度<80%RH; 海拔<2000米