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具體成交價以合同協議為準產品介紹
抗腐蝕型質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有ALICAT質量流量計均具有NIST可溯源校準證書。ALICAT的20S系列數字式質量流量計可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。?
產品特色
數字化產品
多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等 可選高精度：優于0.5%
高量程比 100:1 響應時間快 僅需10ms
內置130種常規以及腐蝕性氣體 可適用于諸多腐蝕性氣體
可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣
基本參數
| 產品性能 | LKF5系列耐腐蝕質量流量計 |
| 精度(調零后標準條件下) | ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) |
| 高精度選配(調零后標準條件下) | ± (0.4%Rdg + 0.2%F.S) 高精度(選配)僅適用于量程為 5SCCM ~ 500SLPM 的設備 |
| 重復性 | ± 0.2% F.S |
| 零點漂移&滿量程漂移 | 0.02% F.S / ºC / Atm |
| 工作范圍 / 量程可調比 | 0.5% ~ 99% F.S / 200:1 |
| 可控流量 | 102.4% F.S |
| 典型響應時間 | 100 毫秒(可調整) |
| 啟動預熱時間 | < 1 秒 |
| 運行工況 | MC & MCR 系列質量流量控制器 | |
| 標準工況 (STP) | 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三種工況供切換) | |
| 工作溫度 | −10 ~ +50 ºC | |
| 工作濕度范圍 (非冷凝) | 0 ～ 99% | |
| 內部工作壓力(靜壓) | 145 psig | |
| 極限壓力 | 175 psig | |
| 對安裝方式/方向的要求 | MC: 無 | MCR: 閥門須垂直安裝 |
| 閥門狀態 | 閥門常閉 | |
| 防護等級 | IP40 | |
| 材質 | MC: 303 & 302不銹鋼, Viton®, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強尼龍, 鋁 , 黃銅, 430FR不銹鋼, 硅, 玻璃 MCR: 303 & 302不銹鋼, Viton®, 硅膠RTV (橡膠), 玻璃增強尼龍, 鋁, 416 不銹鋼,鎳,硅, 玻璃若有特殊材質需求，請聯系艾里卡特® | |
| 通訊 / 電源 | MC & MCR 系列質量流量控制器 | |
| 單色/彩色 LCD 顯示屏 | 同時顯示質量流量、體積流量、壓力和溫度 | |
| 可選數字輸入/輸出信號 1 | RS-232 / RS-485 / Modbus / PROFIBUS3 | |
| 可選模擬輸入/輸出信號 2 | 0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA | |
| 第二道模擬輸入/輸出信號 2 (選配) | 0-5 Vdc / 1-5 Vdc / 0-10 Vdc / 4-20 mA | |
| 電信號接口 | 8 針 Mini-DIN / DB9 / DB15 / 6 針工業接頭 | |
| 供電電壓 | MC: 12 ~ 30 Vdc (4-20 mA 信號輸出須 15-30 Vdc ) | MCR: 24 ~ 30 Vdc |
| 供電電流 | MC: 0.250 Amp | MCR: 0.750 Amp |
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