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深圳市安川測量儀器有限公司
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產品簡介
產品介紹
日本進口yamamoto山本渡金晶圓電鍍設備 A-52硅片電鍍測試設備組
本進口yamamoto山本渡金晶圓電鍍設備 A-52硅片電鍍測試設備組
適用于2至12英寸硅片的電鍍設備。
半導體和MEMS的精密電鍍可以使用專用夾具進行。其結構是一邊不斷過濾一邊溢流，從槽底產生溫和的對流，有單側溢流型和可進行高速攪拌的雙面溢流型。使用槳式攪拌進行直接攪拌。
它也可以用作生產設施。
此外，已在日本和海外獲得多項，還有多項正在申請中。*電腦單獨出售
板材
它不僅可用于硅晶圓，還可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。
關于特殊訂單生產
在標準設備的基礎上，我們可以根據客戶的樣品定制夾具和雙面電鍍夾具的形狀。我們還擁有陽極氧化夾具和陽極氧化夾具等制造設備的跟蹤記錄。治具類型有全密封型、非密封型、臥式等，歡迎隨時與我們聯系。
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設置細分
A-52-ST□AWJYPPA 硅片電鍍實驗裝置WJ型（YPP電源用）
| 產品編號 | 產品名稱 | 數量 |
A-52-ST□-P01A | 硅片水箱（亞克力雙層底型） | 1 |
| A-52-ST□-P02A | 硅片用陰極盒（標準型）（*1） | 1 |
| A-52-ST□-P09A | 硅片陽極支架（陽極背面凸起）（*2） | 1 |
| A-52-ST□-P04D | 槳式攪拌器 | 1 |
B-90-A20-APFA05 / | 迷你迷你過濾器20APFA型（2～6英寸用） 迷你迷你過濾器40APFWJ型（8英寸用） | 1 |
| A-63-M202 B-92-M10-P04A | 氣泵 M202 (AC100V) (2-4寸) | 1 |
| A-52-P18 | 空氣過濾器 | 1 |
| A-52-ST2-P10WJ B-85WJ B-83WJB2 B-95-1A | 晶圓水箱加熱器 WJ2型（2英寸） 300W PFA涂層加熱器（AC100V） 300W石英小型浸入式加熱器 WJB型（5-6英寸） 500W石英加熱器（8英寸） | 2 1 3 3 |
| – | 溫度傳感器、加熱器的塞子 | 1 |
(*1) 從定向平面型或切口型中選擇。也有密封型和真空密封型。
(*2) 不溶性陽極也有隔膜型。
(*3) 英寸數填寫在產品編號的□標記中。
(*) YPP 電源套件。電源、溫度控制器和陽極板單獨出售。請單獨A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D 的電源。PC 單獨出售。
強力攪拌水箱（雙溢流式可實現約兩倍的攪拌速度）
通過將溢流從 1 側更改為 2 側，槳式攪拌速度增加至 130 rpm。溶液的攪拌效率提高，鍍覆更加穩定。此外，還增加了防液體飛濺結構。
| 產品編號 | 產品名稱 | 數量 |
A-52-ST□-U | 硅片水箱（亞克力雙層底型） | 1 |
目前該產品為定制產品。請聯系我們了解尺寸和規格。
根據電鍍的類型和尺寸，我們可以提出三邊溢流型。
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