思顯光電技術（上海）有限公司
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產品介紹
波紋度測量儀
表面波紋度是間距大于表面粗糙度但小于表面幾何形狀誤差的表面幾何不平度，表示了樣品表面的起伏程度，這個起伏可能會直接影響零件的比如接觸剛度、疲勞強度、結合密閉性或強度、耐磨性、抗振性等。工業界內暫時沒有太多好的測量波紋度的方法。
波紋度測量儀采用全新的超高精密運動裝置驅動共焦位移傳感器進行在線掃描，掃描速度可以達到50mm/s，線寬15mm。±1um的高測量精度，±0.5μm的重復精度可滿足您高精度測量需求。
型號
CLS-W150
測量速度
≤50mm/s
測量時間
≤2秒/次
測量點間距
≥5μm自由設置
測量精度
±1μm
行程(X方向)
15mm-40mm（可選）
重復精度（X）
±0.5μm
量程(Z方向)
360μm/1000μm/3100μm
精度（Z）
±0.1μm/0.5μm/1μm
最小可測Wa
100nm/200nm/300nm
采樣頻率
200Hz-4.5kHz
主機輸入電壓
90-264VAC
主機額定功率
400W
傳感器輸入
24V DC 3A
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