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JY-RTS5型雙電測四探針測試儀

技　術(shù)　指　標(biāo) ：

測量范圍	電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)；電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；電阻：0.0001～2000Ω.cm；
可測晶片厚度	≤3mm
可測晶片直徑	140mmX150mm(配S-2A型測試臺(tái))； 200mmX200mm(配S-2B型測試臺(tái))； 400mmX500mm(配S-2C型測試臺(tái))；
恒流源	電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　分辨力：10μV；輸入阻抗：>1000MΩ；精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動(dòng)顯示；
四探針探頭基本指標(biāo)	間距：1±0.01mm；針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機(jī)械游移率：≤0.3%；探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)	(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對(duì)誤差 ( 按JJG508-87進(jìn)行)	0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量最大相對(duì)誤差	(用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度	≤4%
測試標(biāo)準(zhǔn)	采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn)，通過RTS-5雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實(shí)時(shí)采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計(jì)算出電阻值。儀器主機(jī)也可兼容RTS-4四探針測試軟件實(shí)現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn)，兩套軟件可同時(shí)使用。
軟件功能	軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測試數(shù)據(jù)最大值、最小值、平均值、最大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測試。
計(jì)算機(jī)通訊接口	并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對(duì)濕度：≤65%；無高頻干擾；無強(qiáng)光直射；