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RTP多功能快速退火爐

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更新時間：2022-08-01 11:56:01瀏覽次數(shù)：386次

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河南成儀設(shè)備科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

型號：RTP1100-M用途：真正的快速升溫和快速降溫

詳細介紹

　　快速熱處理退火爐簡稱 RTP(Rapid Thermal Processing Furnace)，這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙的設(shè)計工藝使得冷卻氣體直接對著樣品直吹，以至于達到如此快的降溫速度。真正的快速升溫和快速降溫!

　　此款設(shè)備采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO(All In One)控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了爐膛自動左右移動，爐膛在左側(cè)加熱到設(shè)定溫度后，直接移動到右側(cè)樣品區(qū)域，實現(xiàn)樣品快速升溫，樣品加熱到設(shè)定溫度和時間后，爐膛自動移開樣品加熱區(qū)，實現(xiàn)樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實現(xiàn)了真空系統(tǒng)開啟、保護氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動協(xié)調(diào)控制，而且還能自動平衡爐管內(nèi)的壓力大小，真正實現(xiàn)了操作方便，而且安全可靠。

　　功能舉例：樣品加熱到1000℃后，爐膛自動移開加熱區(qū)，冷卻氣體自動打開直吹樣品表面實現(xiàn)快速降溫，樣品溫度降到70℃時自動關(guān)閉冷卻氣體。然后爐膛移動到加熱區(qū)繼續(xù)加熱，如此往復(fù)，往復(fù)次數(shù)可用戶自定義。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設(shè)定溫度自動開啟和關(guān)閉。

　　主要特點

　　Ø 快速升溫100℃/S，快速降溫100℃/S;

　　Ø 雙層爐管結(jié)構(gòu)，氣氛與樣品接觸更均勻;

　　Ø 直接測量樣品表面溫度，測溫更精準;

　　Ø 爐膛根據(jù)設(shè)置可自動左右移動，可以滿足更多的實驗應(yīng)用;

　　Ø 樣品實際溫度數(shù)據(jù)可通過手機APP導(dǎo)出excel表格;

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　Ø 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

　　Ø 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長

　　Ø 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

　　Ø 硅化 (Silicidation);

　　Ø 擴散 (Diffusion);

　　Ø 離子注入后退火 (Implant Annealing);

　　Ø 電極合金化 (Contact Alloying);

　　Ø 晶向化和堅化 (Crystallization and Densification);

產(chǎn)品名稱	RTP多功能快速退火爐
產(chǎn)品型號	RTP1100-M
額定溫度	1100℃
溫場均勻性	±2℃
爐膛升溫速率	≥100℃/S
降溫速率	≥100℃/S
控溫方式	爐膛與樣品要分別控溫，兩個測溫點
爐膛移動方式	根據(jù)用戶樣品設(shè)定溫度自動左右移動，往復(fù)次數(shù)可調(diào)節(jié)
操控系統(tǒng)	智能AIO操作系統(tǒng)
操作界面	7英寸觸摸屏
加熱方式	短波紅外線加熱
加熱腔體結(jié)構(gòu)	雙層石英管
外管直徑	100mm
內(nèi)管直徑	80mm
氣體保護方式	外管進氣，內(nèi)管出氣
壓力保護	管內(nèi)自動恒壓（0.8～1.2個大氣壓任意可調(diào)）
樣品冷卻	加熱后爐膛自動移開，冷氣打開直吹樣品，降到設(shè)定溫度自動關(guān)閉冷卻氣體。
冷卻氣體調(diào)節(jié)	浮子流量計(100～1000ml/min)
超溫保護	溫度出現(xiàn)過高時切斷主回路
式樣有效空間	90*100mm
真空系統(tǒng)	8L/S雙級聯(lián)真空系統(tǒng)
整機真空度	0.5Pa
真空啟動方式	根據(jù)程序設(shè)置自動啟停
抽氣端口尺寸	KF16
供氣口尺寸	1/4英寸雙卡套
法蘭冷卻方式	水冷（短時間無需水冷）
真空顯示	數(shù)字真空壓力表
上位機操控	基于安卓系統(tǒng)APP
數(shù)據(jù)導(dǎo)出方式	APP導(dǎo)出Excel表格
額定功率	12kw
外形尺寸	950500560mm
重量	50kg
配件	管堵2支，法蘭水冷套1支，耐溫手套1雙，坩堝鉗1把，說明書1本。