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ECLIPSE L300N/L300ND

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產品簡介

FPD/LSI檢查顯微鏡ECLIPSEL300N反射專用型ECLIPSEL300ND透反射兩用型集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統，在亮度、對比度和可操作性能方面都達到的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查

詳細介紹

FPD/LSI檢查顯微鏡
ECLIPSE L300N 反射專用型
ECLIPSE L300ND 透反射兩用型

集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統，在亮度、對比度和可操作性能方面都達到的高度，適合于大直徑硅片或大型液晶板的高級檢查。
觀察樣品:?300 mm晶片
觀察倍率15X～3000X（視目鏡和物鏡的組合而定）；
使用CFI60光學系統，消除耀斑影響，對比度更高，成象更加清晰、明亮；
物鏡齊焦距為60mm，可以兼顧高數值孔徑和長工作距離兩方面的要求；
主機剛性高，具有很好的抗振性能，具有防塵、防污染、防靜電功能；
光亮調節、孔徑調節、物鏡轉換等操作都集中在前面，使用方便，即使長期操作也不易產生疲勞；

規格
	ECLIPSE L300N	ECLIPSE L300ND
	(落射照明型）	（透射/落射照明型）
主機	內置12V-50W鹵素燈光源；內置用于電動控制器的電源
	用于物鏡轉換器的電動控制器、鹵素燈亮度控制、
	光圈葉片控制器
	物鏡轉換器：具備物鏡轉換器
	對中功能的電動通用六座物鏡轉換器
	—	反射/透射切換器
調焦部分	對焦部:行程29mm
	粗調:12.7mm/轉(可扭距調節.帶重新對焦機能)
	微調:0.1mm/轉(以um為單位)
反射照明部	12V50W高亮度鹵素燈照明裝置
	孔徑光闌（電動.可調心)、視場光闌（固定.帶對焦目標)
	可插入小孔光闌滑塊(OPTION)
	可插入∮25mm濾光片(NCB、ND2、ND4）、起偏器/檢偏器
	觀察方法：明場、暗場、簡易偏光、微分干涉、反射熒光
	（僅用于L300N/L300ND/L200ND）
透射照明部	—	12W50W高亮度鹵素燈照明裝置
		內置孔徑光闌
		內置LWD聚光器
接口	USBx1，RS232C（用于Intensilight)x1
鏡筒	L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒（視角0～30°）
	視場數25、光分光100：0/0：100
	L2-TT2A超大視場正立調傾式三目鏡筒（俯角0～30°）
	視場數25、光分光100：0/20：80
	LV-T13正立三目鏡筒
	視場數25、光分光100：0/0：100
目鏡	CFI目鏡
物鏡	CFI60系列物鏡
載物臺	14x12載物臺、行程354mmx302mm
	（透射觀察范圍：354mmx268mm）
	帶粗/微動切換功能
	微動手輪位置固定
防靜電功能	從1000到10V放電時間在0.2秒以內
耗電	1.2A/90W
尺寸	約360(W)x581(H)x951(D)mm（傾斜角度為10°時）