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沈陽科晶自動化設備有限公司
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PCE-8等離子清洗機
產品簡介：PCE-8等離子清洗機是一款較大型的等離子清洗機，等離子腔體為 Ø8.5"×12"的石英腔體，采用的射頻電源功率0- 100W連續可調節，采用的射頻為13.56MHz。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物，同時也可改變物體表面的性質（如親水和疏水性等），對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預處理，將對生長具有顯著的作用。PCE-8等離子清洗機配有一個直連式雙旋真空泵，可對腔體進行抽真空，同時通入氬氣等保護氣體，適用于對易氧化的物品的清洗。
| 產品型號 | PCE-8等離子清洗機 |
| 主要特點 | 1、采用6"彩色觸摸屏，可控制射頻功率、清洗時間、氣體流量、真空泵的開啟等。 2、內部配有0-500mm/min的質量流量計，可以精確地控制進氣流量。 |
| 技術參數 | 1、電源：AC220V 2、射頻功率：100W，可在0-100W間調節 3、真空泵功率：<500W 4、總功率：<600W 5、射頻：13.56MHz 6、等離子腔體：高純石英腔體，外徑Ø8.5"，內徑Ø8.2"，長12"，采用鋁制折疊式法蘭進行真空密封，法 蘭設有一個Ø60mm的觀察窗口 7、極限真空度：50mtorr 8、通入氣體：可通入多種氣體，如N2、Ar、Air、H2、O2和混合氣體等等（根據材料性質所定） |
| 清洗及蝕刻 |  |
| 產品規格 | 尺寸：620mm×450mm×600mm |
| 可選配件 | 1、300W、600W射頻電源（進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗） 2、2"-6"石英舟（盛放基片） 3、2-4通道浮子混氣系統 4、2-4通道質子混氣系統 5、直連式雙旋真空泵（240L/min） 6、KF25波紋管 7、KF25手動擋板閥 |
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