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快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產品簡介

快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV

詳細介紹

產品簡介：快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV是專為半導體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達3″ ）的退火而設計，配有3路流量計和機械泵。本機采用 9KW的紅外燈進行加熱，升溫速度可達 100℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。

產品型號	快速升溫CVD系統RTP-1000-F3LV
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要。 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、雙層Al₂O₃纖維鋼構，無需水冷或風冷。 2、內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。 3、PID控制器，可以設置30段升降溫程序，并設有過熱保護和斷偶功能。 4、已通過CE認證。
技術參數	1、電源：單相208V-240V AC 50/60Hz 9KW 2、石英管：外徑Ø110mm，內徑Ø103mm，長380mm 3、加熱元件：紅外燈管，直徑Ø10mm，長300mm 4、加熱區：300mm 5、工作溫度：溫度1100℃ 6、控溫精度：±0.5℃ 7、升溫速度：RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s 8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動控制 9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運行必須采用水冷，循環水流量為0.5m³/hr 10、真空度：10^-3torr 11、流量計：3個，量程40cc/min-400cc/min，精度4%FS
產品規格	尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統600mm×600mm×597mm 重量：爐體45kg，真空混氣系統30kg
可選配件	防腐型數字式真空顯示計