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高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

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更新時間：2023-02-25 10:30:06瀏覽次數(shù)：180次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成，工作溫度可達1200℃，混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣，然后導入管式爐內部，本系統(tǒng)極限真空度可達10^-5 torr。

產(chǎn)品型號	高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV
安裝條件	本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風裝置：需要
主要特點	1、雙層殼體，配有風冷系統(tǒng)，殼體溫度<60℃。 2、內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高反射率和保護爐膛潔凈度。 3、采用PID控制器，可以設置30段升降溫程序。 4、質量流量系統(tǒng)采用316不銹鋼制作而成。 5、已通過CE認證。
技術參數(shù)	管式爐 1、電源：AC 220V 50Hz/60Hz 2、石英管：外徑Ø80mm，內徑Ø75mm，長1000mm 3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲（表面涂有氧化鋯） 4、加熱區(qū)域：440mm 5、恒溫區(qū)域：150mm 6、工作溫度：1200℃，連續(xù)工作1100℃ 7、升降溫速率：20℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：K型
	高真空機組 1、殼體：600mm×600mm×700mm，承重275kg 2、真空泵：德國Pfeiffer真空泵 3、顯示屏：LCD數(shù)字顯示 4、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s 5、工作范圍：1000mtorr-10^-7mtorr 6、極限：10^-8mtorr（無泄漏）
	質量流量混氣系統(tǒng) 1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：18W 3、尺寸：600mm×600mm×700mm 4、混氣箱：Ø80mm×120mm