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1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

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更新時間：2023-02-26 14:08:55瀏覽次數(shù)：156次

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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡介

1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成，工作溫度可達(dá)1600℃，混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣，然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部，本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10^-5 torr。

產(chǎn)品型號	1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源 4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通風(fēng)裝置：需要
主要特點	1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。 2、采用高純氧化鋁纖維，有效減少熱量損失。 3、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和使用壽命。 4、采用PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序。 5、已通過CE認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	管式爐 1、電源：單相AC 208V-240V 50Hz/60Hz 6KW 2、爐管：高純氧化鋁陶瓷管，外徑Ø100mm，內(nèi)徑Ø92mm，長1000mm 3、加熱元件：1800℃硅鉬棒8根 4、加熱區(qū)域：457mm 5、恒溫區(qū)域：150mm 6、工作溫度：1650℃，連續(xù)工作1600℃ 7、升溫速率：≤5℃/min 8、控溫精度：±1℃ 9、熱電偶：B型 10、不銹鋼真空法蘭：1對 11、機(jī)械壓力表：1個 12、針閥：2個 13、連接器：KF-25，1個 14、抽氣接口：KF-25轉(zhuǎn)KF-40 15、卡套接頭：1/4″
	高真空機(jī)組 1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 100W-110W 2、真空泵：德國Pfeiffer真空泵 3、顯示屏：LCD數(shù)字顯示 4、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s 5、工作范圍：1000mtorr-10^-7mtorr 6、極限：10^-8mtorr（無泄漏）
	質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) 1、電源：單相AC208V-240V 50Hz/60Hz 18W 2、功率：18W 3、混氣箱：Φ80mm×120mm
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm，　　　質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm