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沈陽科晶自動化設備有限公司


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精密液體氣相發生器

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更新時間:2023-03-02 09:17:48瀏覽次數:224次

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產品簡介

精密液體氣相發生器

詳細介紹

產品簡介:精密液體氣相發生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統,其液體流量是通過數字液體泵來控制,流量為80ml/min精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統后,被系統里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠導出多種液體,如ETOHSnCl4 TiCl4RSiHCl3ZnC2H52,以及多種有機物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研究設備。

精密液體氣相發生器操作視頻

 

產品型號

 精密液體氣相發生器

主要特點

   1流體和氣體在一個316不銹鋼罐中加熱。

   2采用30段程序化控溫。

   3氣體流速通過浮子流量計控制。

   4配有壓力表,可測出液氣混合罐中的氣體壓強。

   5配有兩個不銹鋼針閥,以控制氣體進出。

   6、可與本司所有管式爐和CVD系統相連接。

   7、已通過CE認證。

技術參數

   1電源:單相AC208V-240V  50Hz/60Hz

   2、功率:1000W

   3、蠕動泵:精確度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可調)

   4工作溫度:300

   5控溫精度:±1

   6、浮子流量計:0-2000ml/min(可調)

   7、出氣口:外徑1/4

產品規格

 尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg

可選配件

加熱帶(纏繞在外接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。)


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