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上海爾迪儀器科技有限公司
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Diener Tetra30PCCE 等離子清洗機
Tetra 30 等離子系統能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式。
在下文中您可以大致了解能夠與 Tetra 30 等離子系統一同使用的見的選裝件。
Tetra 30 等離子系統主要應用于以下領域：
分析 (REM, TEM)
考古
汽車行業
生物技術
彈性體技術
電子技術
電子顯微鏡
精密工程
研究和開發
半導體技術
小批量生產
塑料技術
醫療技術
微系統技術
太陽能電池技術
紡織技術
基本設備
根據具體組件/選裝件，外殼規格會有所不同
腔室容積：根據具體版本，分為 34 - 57 升
供電電源： 230 V 或者 400 V / 3 相位
氣源
質量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門
（約寬 305 mm、高 300 mm x 深 370 mm 或者 625 mm）
裝載件
產品支架（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
電極
單層或多層
具有氣體噴淋的 RIE 電極
控制系統
PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)
壓力測量
Pirani
Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計時器
數字型
發生器
| 頻率： | 40 kHz: 功率 0 - 1000 W；0 - 1500 W；0 - 2500 W |
| 13.56 MHz: 功率 0 - 300 W；0 - 600 W | |
| 2.45 GHz: 功率 0 - 600 W；0 - 1200 W |
所有發生器均為 0 - 99% 無級可調型
真空泵
規格和制造商均各有不同（按照活性炭過濾器的需要）
其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝，包括培訓。可應要求提供的其他選項。
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