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JXA-8530F Plus 場發射電子探針顯微分析儀

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更新時間:2022-09-26 10:22:35瀏覽次數:310次

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產品簡介

日本JEOL 場發射電子探針顯微分析儀 JXA-8530F Plus ,采用浸沒式肖特基場發射電子槍,優化了角電流密度,能利用2 A以上的大探針電流進行分析,還提高了分析條件下的二次電子像的分辨率。

詳細介紹

日本JEOL 場發射電子探針顯微分析儀 JXA-8530F Plus

2003年日本電子推出了世界商業化場發射電子探針(FE-EPMA),此后被廣泛地應用于金屬、材料、地質等各個領域,并獲得了的贊譽。研發的第三代場發射電子探針JXA-8530F Plus,電子光學系統有了很大的改進,新的軟件能提供更高的通量,并保持著的穩定性,能實現更廣泛的EPMA應用。

產品特點:

· 肖特基場發射電子探針Plus

· JXA-8530F Plus采用浸沒式肖特基場發射電子槍,優化了角電流密度,能利用2 μA以上的大探針電流進行分析,還提高了分析條件下的二次電子像的分辨率。

· 高級軟件

· 新開發了多種基于Windows操作系統的軟件,其中包括:能使痕量元素分析更加簡便的“痕量元素分析程序”、能自動制作相圖的“相圖制作器”以及只需簡單輸入就能對表面凹凸不平樣品進行測試的“不平坦樣品的分析程序”等。

· 備注:Windows7® 為美國微軟公司在美國及其它國家的注冊商標或商標。

· 靈活的WDS配置

· X射線波譜儀可以選擇140 R或100 R羅蘭圓, 羅蘭圓半徑為140 mm的XCE/L型X射線譜儀檢測范圍寬,波長分辨率高和P/ B比優異,100 mm的H型X射線譜儀具有X射線衍射強度高的特點,可以根據需要選擇使用。

· WDS/EDS組合系統

· JXA-8530FPlus標配了JEOL制造的30平方毫米 SD檢測器(以下簡稱SD檢測器),憑借高計數率的SD檢測器,在與WDS相同的分析條件下可以進行EDS分析,通過簡單的操作就能采集EDS譜圖。

· 多功能樣品室

· 樣品室的可擴展性強,配備了樣品交換室,可以安裝各種附件。 可以安裝的附件

· • 電子背散射衍射系統(EBSD)

· • 陰極熒光檢測系統

· • 軟X射線分析譜儀

· • 不暴露在大氣環境下的轉移艙

· • 高蝕刻速率的離子源

· 強力、清潔的真空系統

高強力真空系統包括兩臺磁懸浮渦輪分子泵, 鏡筒內還采用兩個中間室,通過差動抽氣保持電子槍室的高真空。

· 軟X射線分析譜儀 (SXES)

· SXES (Soft X-Ray Emission Spectrometer)  軟X射線分析譜儀

· 日本東北大學多元物質科學研究所(寺內正己教授)和日本電子株式會社共同開發的的高分辨率軟X射線分析譜儀。 新開發的變柵距衍射光柵(VLS)和高靈敏度的CCD相機組合,同時檢測Li-K系譜線和B-K系譜線,該譜儀實現了的能量分辨率,因而能進行化學結合狀態分析等。

· miXcroscopy (關聯顯微鏡)

· miXcroscopy 光學顯微鏡/掃描電子顯微鏡關聯系統

· 能批量登錄光學顯微鏡的坐標數據作為EPMA的分析點,該系統于需要用光學顯微鏡決定分析位置的樣品。

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