<清洗>
● 高分子材料表面的官能基付與→ 粘合性，密著性提高。通過氧化反應，在表
面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基（微量的水分及二氧化碳影響）；
● 電子零件，光學零件和微小部件的清洗、電鍍、涂層前處理。
● 細菌的消毒等（通過氧自由基進行細胞膜的蝕刻或通過紫外線進行消毒）。
同樣，氮氣等離子時，表面吸取氮原子生成-NH2官能基。
● 提高各種聚合物的粘結性以及提高醫科齒科材料的生物相容性等。
● 通過處理培養皿可以在其上均勻涂抹培養基等。
<表面改質>
● 有機高分子材料的蝕刻。對于有機高分子氧氣成為蝕刻氣體，可以進行抗蝕劑的蝕刻。
● 促進種子發芽等實驗。
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