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參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
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更新時(shí)間:2023-10-11 07:39:23瀏覽次數(shù):154次
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日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機(jī)PDC610
型號(hào) | PDC610 |
等離子模式 | RIE/DP(固定模式) |
電極構(gòu)造 | 3段獨(dú)立平行平板(固定) |
高頻輸出 | Max600W |
頻率 | 13.56MHz |
控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
反應(yīng)腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
真空泵 | 油泵(約345L/分)·標(biāo)配 |
外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
電源 | 3相,AC200,50/60Hz,15A |
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