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蘇州汶顥微流控技術股份有限公司
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顯影機可以對 7 英寸及以下規格的硅片進行程控式自動化顯影，實現了顯影液的量和顯影時間可控，確保顯影穩定性......
1. 產品簡介
顯影機（WH-XY-01）是汶顥股份自主開發的具有獨立知識產權的一款產品， 針對光刻工藝中的顯影過程而設計開發的，可以對 7 英寸以下規格的硅片進行程控式自動化顯影。該設備可替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環節，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時間不可控、同規格硅片間隔顯影效果不可控，上減少操作人員人為因素導致的顯影質量問題以及硅片的損壞。
顯影機（WH-XY-01）詳細說明書下載
顯影機主要特點如下：
1）顯影池搖晃震蕩頻率可設定,保證顯影液與硅片等接觸充分，提高顯影效果與質量；
2）可根據顯影的載體進行精確設定顯影托盤升降位置，從而確定顯影液的進入添加量，避免顯影液的浪費；
3）顯影液可以自動添加與排放，靈活更換；
4）友好的人機界面設計，保證操作人員的使用體驗與安全；
5）便攜性好，方便在實驗室移動；
6）腔體為SUS304材料的耐腐蝕腔體。
2. 技術參數
震蕩方向：順時針/逆時針 ；
轉速：10～300RPM ；
液量控制：50～500mL ；
適配硅片/芯片：≤7 寸 ；
顯影時間：0～999s ；
進液速度：0～99% ；
電源輸入：AC220V±10V/50HZ ；
功率：150W ；
重量：14 kg ；
外形尺寸：375（W）* 380（D）* 300（H）mm ；
工作環境：溫度 0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %。
3. 特征圖解
備注：如需了解產品價格及其他技術內容可咨詢我司客服。
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