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WH-XY-01 顯影機(jī)

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更新時(shí)間：2023-06-14 10:31:47瀏覽次數(shù)：289次

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蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

顯影機(jī)可以對 7 英寸及以下規(guī)格的硅片進(jìn)行程控式自動化顯影，實(shí)現(xiàn)了顯影液的量和顯影時(shí)間可控，確保顯影穩(wěn)定性......

詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品簡介

顯影機(jī)（WH-XY-01）是汶顥股份自主開發(fā)的具有獨(dú)立知識產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品，針對光刻工藝中的顯影過程而設(shè)計(jì)開發(fā)的，可以對 7 英寸以下規(guī)格的硅片進(jìn)行程控式自動化顯影。該設(shè)備可替代微流控芯片制作過程中的手動顯影環(huán)節(jié)，克服了手動顯影過程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時(shí)間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控，上減少操作人員人為因素導(dǎo)致的顯影質(zhì)量問題以及硅片的損壞。

顯影機(jī)（WH-XY-01）詳細(xì)說明書下載

顯影機(jī)主要特點(diǎn)如下：

1）顯影池?fù)u晃震蕩頻率可設(shè)定,保證顯影液與硅片等接觸充分，提高顯影效果與質(zhì)量；

2）可根據(jù)顯影的載體進(jìn)行精確設(shè)定顯影托盤升降位置，從而確定顯影液的進(jìn)入添加量，避免顯影液的浪費(fèi)；

3）顯影液可以自動添加與排放，靈活更換；

4）友好的人機(jī)界面設(shè)計(jì)，保證操作人員的使用體驗(yàn)與安全；

5）便攜性好，方便在實(shí)驗(yàn)室移動；

6）腔體為SUS304材料的耐腐蝕腔體。

2. 技術(shù)參數(shù)

震蕩方向：順時(shí)針/逆時(shí)針；

轉(zhuǎn)速：10～300RPM ；

液量控制：50～500mL ；