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上海五鈴光電科技有限公司
●UV強化背照式制冷型傳感器,降溫25度●紫外 (180~400nm) 強化機種,應用波段180~1100nm?●穩定的溫度控制和精準的量測性能?●橢偏儀、膜厚量測、高階LED量測●高靈敏度、高SNR、超高分辨率、低熱噪訊、低雜散光(雜散光比例可達0.01%)
鷹眼系列光譜儀分別使用3款NIR和UV增強背照式制冷型傳感器c(Back-thinned TEC Sensor) 及高性能32bits RISC微控制器,具有的靈敏度、高光學分辨率 (可依使用者所需選配0.2~10 nm)、高訊雜比 (=500)、高動態范圍 (=5000) 、低熱噪訊等高階性能。
完善的制冷系統設計能降溫25度,搭配OtO開發「雜散光校正」演算法,將雜散光比例降至0.01%,在長時間曝光的情況下,也能保有穩定的溫度控制 (<0.015nm )="">0.015nm>使得鷹眼6號適合全波長 (180 -1100 nm) 范圍量測,為橢偏儀、膜厚量測、高階LED量測。
類別 | 型號 | 波長范圍 | 狹縫 | 波長分辨率 | 訊雜比 | 動態范圍 | 曝光時間 | 熱穩定性 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
橢偏儀 | EE2061 | 180~1100 nm | 50 um | 2.2 nm | 500 | 5000 | 5ms~65sec | <0.04 nm/℃="">0.04> |
項目 | 規格 | |||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
光學設計 | Unfolded Czerny-Turner | |||||||
型號 | EE2051 | EE2061 | EE2091 | |||||
波長范圍 | 500~1100 nm | 180~1100 nm | ||||||
CCD Cooling | 室溫 25℃ 可降至 0℃ | |||||||
CCD | 近紅外增強背照式 制冷型傳感器 | 紫外增強背照式 制冷型傳感器 | 紫外增強背照式 快速曝光 (1.5ms) 制冷型傳感器 | |||||
光學分辨率 (nm) | 0.4~10nm | 0.2 ~10nm | ||||||
入口狹縫寬度 | 10, 25, 50, 100, 200, 300 um | |||||||
訊雜比 | 500 | |||||||
動態范圍 | 5000 | |||||||
曝光時間 | 5 ms ~ 65sec | 1.5 ms ~ 65sec | ||||||
光訊息參數即時計算 | V | |||||||
UART | V | |||||||
連續高速曝光模式 | V | |||||||
應用 | 拉曼量測 | 橢偏儀、膜厚量測、高階LED量測 |
項目 | 規格 |
---|---|
CPU | ARM9 |
A/D 轉換器 | 15MHZ, 16bit |
傳輸介面 | USB 2.0 |
電源 | 電源需求(USB): 330mA at +5 VDC 制冷插孔電源需求: 500mA at 5VDC |
開機時間 | <4 sec="">4> |
尺寸 | 130 x 86 x 32 mm |
重量 | 500 g |
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