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安徽歌博科技有限公司
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更新時間：2022-12-22 11:09:45瀏覽次數(shù)：294次
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安徽歌博科技A500型干泵氦質譜檢漏儀，靈敏度高、操作便捷、低維護，使您放心得到準確可靠的測試結果。
產(chǎn)品廣泛應用于科研院所、航空航天、半導體、半導體氣柜，光伏等行業(yè)。
功能描述
支持正壓檢漏，負壓檢漏
自動跟蹤本底，提供快速可靠的測量結果
優(yōu)化設計的質譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應
高可靠性的真空系統(tǒng)和質譜系統(tǒng)確保快速清氦
支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底
機器的性能支持7*24小時長時間在線測試
機器的性能支持幾秒一次的高頻率測試
配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質，確保機器不受雜質影響和損傷
雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設計，防大氣沖擊
支持定制檢漏工作臺，更加便捷使用
技術參數(shù)
最小可檢漏率（負壓模式） 5×10-13Pa?m3/s
最小可檢漏率（正壓模式） 5×10-9Pa?m3/s
檢漏口壓強 粗檢 1500Pa
中檢 200Pa
精檢 40Pa
響應時間 ＜0.5s
啟動時間 ≤2min
前級油泵抽速 14.5m3/h(4L/s)
外形尺寸（W×D×H） 845×465×988
重量 75Kg
尺寸圖
常見泄漏率
檢漏方法示意圖
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