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INFICON的Pirani標準真空計PSG500和PSG502-S在一個堅固而小巧管殼內展現了更*的Pirani技術
INFICON 的 Pirani 標準真空計 PSG500 和 PSG502-S 在一個堅固而小巧管殼內展現了更的Pirani 技術。溫度補償能提供快速與更穩定的真空測量并消除了對大氣壓強反應慢的問題。 堅固耐用的不銹鋼傳感單元更適用于半導體系統, 以及常規用途的前級真空測量。
典型用途
· 控制高真空電離真空計
· 前級真空壓強監測
· 真空系統中的安全電路
· 在中真空和粗真空范圍內的一般真空測量與控制
特 點
· 占空間小
· 任何方位安裝
· 不銹鋼測量單元的金屬密封饋入件
· **化的溫度補償
· 易于集成的對數訊號輸出
· 至10 巴的高過壓能力，用螺紋連接件
· 烘烤型在法蘭處可達到250℃
· 易于更換的傳感單元
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