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INFICON BPG400 大氣壓至超高真空真空計

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更新時間：2022-11-02 13:10:48瀏覽次數：249次

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產品簡介

益處測量范圍非常廣

詳細介紹

益處

  • 測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）
  • 10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內 5% 的優良可重復性
  • 皮拉尼聯鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統在高壓操作下燈絲過早燒毀和過度污染
  • 使用壽命長的氧化釔銥絲
  • 備有可選的圖形顯示屏和現場總線接口
  • 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員干預
  • RoHS 合規
  • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

典型應用

  • 對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
  • 工業鍍膜
  • 低真空和超高真空范圍內的一般真空測量和控制

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