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武漢泰和豐順光電有限公司
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HPG400 大氣壓至高真空真空計 INFICON 高壓熱電離皮拉尼HPG400型真空計 將高壓熱電離技術與皮拉尼傳感器整合在一個單個緊湊經濟的裝置中，可測量 2×10-6毫巴至大氣壓（1.5×10-6托至大氣壓）范圍內的壓力。 HPG400 型真空計為精確的濺射過程壓力控制提供重復測量并再現測量數據。
| 類型 | HPG400 | |
|---|---|---|
| 測量范圍（空氣，N2） | 2×10-6 … 1000 | |
| 精度 | ||
| 10-5 … 1 毫巴 | % of reading | ±15 (1) |
| 可重復性 | ||
| 10-5 … 10-1 毫巴 | % of reading | 2 |
| 10-1 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
| 熱離子發射，可選： | ||
| 選購件 1 | mbar | 1 |
| 選購件 2 | mbar | 5×10-1 |
| 選購件 3 | mbar | 2×10-1 |
| 選購件 4 | mbar | 1×10-1 |
| 選購件 5 | mbar | 5×10-2 |
| 壓力， | bar (absolute) | 2 |
| 溫度 | ||
| 運行（環境） | °C | 0 … +50 |
| 貯存 | °C | -20 … +70 |
| 在法蘭處烘烤 | °C | 80 |
| 移除烘烤電子設備 | °C | 150 |
| 電源電壓 | 20 … 28 | |
| 輸出信號模擬 | ||
| 輸出信號 | V | 0 … +10.2 |
| 測量范圍熱陰極 | V | 1.5 … 7.5 |
| 測量范圍皮拉尼 | V | 8.5 … 9.75 |
| 電壓比壓強熱陰極 | volts per decade | 1 |
| 電壓與壓強皮拉尼 | volts per decade | 0.25 |
| 錯誤信號熱陰極 | V | 0.3 |
| 錯誤信號皮拉尼 | V | 0.5 |
| 最小負載電阻 | k? | 10 |
| 接口（數字）(2) | RS232C | |
| 電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 電纜長度， (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 暴露于真空的材料 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 內部容積 KF / CF | cm3 (in.3) | 20 (1.2) / 30 (1.8) |
| 重量 KF / CF | g | 430 / 695 |
| 保護等級 | IP30 | |
| DeviceNet™ | ||
| 協議 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 數據率開關 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 電纜長度 125 kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 電纜長度 250 kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 電纜長度 500 kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 網絡規模 | up to 64 nodes per segment | |
| 數字功能 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 模擬功能 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 可視通信指示器 | ||
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