主要技術參數：
（1）曝光面積：100mm×100mm；
（2）照明不均勻性： ￡3%（ f100mm范圍）；
（3）分辨力：1.0um（膠厚2.0um的正膠，365nm波長）
（4）對準精度：≤±0.8μm；
（5）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；
（6）樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm、厚度0.1mm--6mm；
（7）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; q:±6°；
（8）掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm
（9）曝光光源：紫外LED（進口）；
（10）曝光波長：365nm；
（11）曝光強度：≥20mW/cm2；
（12）曝光定時：倒計時方式(0.1s—9999.9s任意設定).
技術構成與配置
設備由曝光頭系統、對準工件臺系統、CCD對準顯微鏡系統、電控系統、氣動系統等部分構成。
（1）曝光頭系統包括:
◆ 進口紫外LED光源模塊；
◆ LED光源整形模塊；
◆ XYZ光源位置調節臺；
◆ 光學系統（含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、場鏡組、反射鏡組）；
◆ 冷卻風扇。
（2）對準工件臺系統包括：
◆ 掩模樣片相對運動臺（XY）；
◆ 轉動臺；
◆ 樣片調平機構，采用三爪加球氣浮自動調平方式；
◆ 樣片調焦機構，采用電機加傳感器方式，可數字分離曝光間隙；
◆ 承片臺4個（f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸各1個）；
◆ 掩模夾4個（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸各1個）。
（3）CCD對準顯微鏡系統包括：
◆ 對準光源LED燈；
◆ 雙目雙視場對準顯微鏡主體；
◆ 目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）；
◆ 物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）；
◆ CCD部件；
◆ 22英寸寬屏液晶顯示器。
（4）電控系統包括：
◆ 單片機控制系統；
◆ 紫外LED電源模塊；
◆ 控制柜桌。
（5）氣動系統包括：
◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關、電磁閥驅動、氣動儀表等 。
(6)．輔助設備配置:
◆ 真空泵1臺（干泵）；
◆ 空氣壓縮機1臺；
◆ 配套接管10m；
(7)．備品備件
◆ 對準光源燈4只（LED-1W，不包括機器自帶的兩只）；
