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洛陽西格馬高溫電爐有限公司


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1200℃真空CVD管式爐\1200度滑式高溫真空爐CVD系統(tǒng)

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更新時間:2023-03-13 19:57:48瀏覽次數(shù):723次

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產(chǎn)品簡介

1200℃真空CVD管式爐是由:真空管式爐、氣體流量計(jì)、真空泵三部分構(gòu)成

詳細(xì)介紹

1200℃真空CVD管式爐是由:真空管式爐、氣體流量計(jì)、真空泵三部分構(gòu)成。真空CVD管式爐 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃ 。爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度 。真空密封系統(tǒng) 由兩個不銹鋼密封法蘭,極限真空度≤10-2 Pa or 10-4 Pa。

1200℃真空CVD管式爐

1200℃真空CVD管式爐有四路供氣系統(tǒng) 可以用于控制一種到四種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架上,管式爐可以放在上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥。結(jié)合管式爐,它可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

1200度滑式真空爐CVD系統(tǒng)由滑動式開啟式真空管式爐、混氣系統(tǒng)、真空及壓力系統(tǒng)等組成。溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。 1200管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。通過滑動爐體來實(shí)現(xiàn)快速的升降溫;配置不同的真空系統(tǒng)來達(dá)到不錯的的真空度。

真空CVD管式爐應(yīng)用范圍:

真空CVD管式爐高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測。粉末冶金行業(yè)以及義齒加工行業(yè)的烘烤、氧化鋯盤預(yù)燒結(jié)等。根據(jù)加熱區(qū)大小,進(jìn)行小試,中試,批量生產(chǎn)。

真空CVD管式爐可用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長、電池材料干燥燒結(jié)等場所。該系統(tǒng)技術(shù)成熟、質(zhì)量可靠;該系統(tǒng)是材料實(shí)驗(yàn)室的不錯的設(shè)備之一。

真空CVD管式爐結(jié)構(gòu)特點(diǎn):

加熱元件 :優(yōu)質(zhì)摻鉬鐵鉻鋁合金加熱絲環(huán)形加熱,溫場均勻,能耗低升溫速率建議:10℃/Min Max:20℃/Min

測溫元件 :K型熱電偶

爐膛保溫材料 :1500型高純氧化鋁微晶體纖維,保溫性能好

開門方式 :上開式

殼體結(jié)構(gòu) :雙層,殼體間風(fēng)扇制冷,可使?fàn)t體表面快速降溫。

節(jié)能效果 :保溫時僅需40%功率

控制模式 :智能PID調(diào)節(jié)、模糊控制、自整定功能

溫度曲線 :0段可編程控制,可設(shè)置30段升降溫程序

隨機(jī)配件

防護(hù)手套1雙;坩堝鉗1把;剛玉舟1只;石英管;爐塞;爐勾;6號內(nèi)六角(法蘭專用); 法蘭一套;配套氣管;高溫密封圈8個;產(chǎn)品說明書1份;儀表說明書1份;保修證書1份。

真空CVD管式爐可選配質(zhì)量流量控制器跟浮子流量計(jì)。

質(zhì)量流量控制器:
工作電壓:185~245V/50Hz
額定輸出功率:18W
控制范圍:
控制器1:1~199 SCCM
控制器2:1~499 SCCM
工作溫度:5~45 ?C
額定壓力:3x106 Pa
準(zhǔn)確度:±1% FS
控制閥及管線連接等
浮子流量計(jì):流量速率在25to250ml/min

管式爐技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品型號

產(chǎn)品型號 SGM1200-60 加熱區(qū)尺寸 440mm恒溫150mm
極限溫度 1200℃ 工作溫度 ≤1100℃
石英管 60*54*1000mm 加熱溫區(qū)數(shù) 1
表面溫度 <60℃ 控溫精度 ±1℃
設(shè)備功率 4 KW 工作電壓 單相220V


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