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東莞市宏格電子科技有限公司
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型號M80M120M82M112工件尺寸6″＆8″12″6″＆8″12″晶圓厚度150-800μm150-800μm150-750μm150-750μm膜類型藍膜＆UV膜膜厚度0
| 型號 | M80 | M120 | M82 | M112 |
| 工件尺寸 | 6″＆8″ | 12″ | 6″＆8″ | 12″ |
| 晶圓厚度 | 150-800μm | 150-800μm | 150-750μm | 150-750μm |
| 膜類型 | 藍膜＆UV膜 | |||
| 膜厚度 | 0.05-0.2mm | |||
| 膜寬度 | 270-330mm | 330-400mm | 270-330mm | 330-400mm |
| 工作臺 | 防靜電特氟龍處理 | |||
| 加熱溫度 | 室溫-150℃ | |||
| 效率 | 80片/小時 | 70片/小時 | 80片/小時 | 70片/小時 |
| 供氣 | 0.5Mpa潔凈干燥壓縮空氣 | |||
| 供電 | AC220V,10A | AC220V,10A | AC220V,16A | AC220V,16A |
| 外形尺寸 W*D*H | 360mm*860mm*560mm | 560mm*1000mm*600mm | 600mm*960mm*500mm | 660mm*1100mm*500mm |
| 重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 110kg |
主要特點：
1、M80&M120
的防靜電滾輪貼膜；
手動拉膜及貼膜；
手動晶圓上下料；
圓周刀彈性結構，割膜力度可調；
結構合理換刀方便；
工作臺浮動設計，高度可調；
離型膜自動纏繞回收；
可根據需求做定制化；
2、M82&M122
的防靜電滾輪貼膜；
防靜電離子風機；
自動膠膜傳送及貼覆；
貼膜壓力及速度均可調；
手動晶圓上下料；
觸摸屏操作面板
基于PLC程序控制；
可根據需求做定制化；
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